Electronic Times引述知情人士报导,SK海力士计划今年斥资2兆韩元(108亿元人民币),采购八部极紫外光微影设备(EUV)。

SK海力士目前手上有五部EUV,新采购的EUV设备将用于转换到第五代的动态随机存取存储器(DRAM)。SK海力士大陆无锡厂调整到第四代DRAM产线,也有赖这些机台。

由于EUV设备无法进口到中国大陆,SK海力士已决定把晶圆从中国大陆空运回,并在今年进行必要的EUV调整。

一名SK海力士发言人向彭博信息表示,无法对资本支出计划置评。

作者 Song, Xu

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